Особенности серии NRL
Равномерность распределения температур. Подходит для важного процесса опорожнения полости, при котором требуется увеличить скорость потока и сократить время выпуска.
Низкий уровень вибрации и шума
Превосходная коррозионная стойкость
Внутренние компоненты проходят специальную обработку, придающую поверхности высокую степень твердости и коррозионной стойкости. Это помогает предотвратить коррозию внутренних частей насоса при воздействии агрессивных газов.
Области применения
• Откачка активного газа (CVD, травление).
• Удаление инертного газа (PVD, испарение, термообработка).
• Удаление газов в процессе формирования порошков (печи для выращивания кристаллов кремния).
• Форвакуумный насос для турбомолекулярных насосов и механических бустерных насосов
Равномерность распределения температур. Подходит для важного процесса опорожнения полости, при котором требуется увеличить скорость потока и сократить время выпуска.
Низкий уровень вибрации и шума
Превосходная коррозионная стойкость
Внутренние компоненты проходят специальную обработку, придающую поверхности высокую степень твердости и коррозионной стойкости. Это помогает предотвратить коррозию внутренних частей насоса при воздействии агрессивных газов.
Области применения
• Откачка активного газа (CVD, травление).
• Удаление инертного газа (PVD, испарение, термообработка).
• Удаление газов в процессе формирования порошков (печи для выращивания кристаллов кремния).
• Форвакуумный насос для турбомолекулярных насосов и механических бустерных насосов